Оптическая система
| Оптическая система: |
Модифицированная схема Хилла с компенсацией астигматизма. Два независимых спектральных канала |
| Диапазон длин волн: |
185 нм – 60 мкм (в зависимости от используемой решетки) |
| Относительное отверстие по входу: |
|
| - Общее по входу: |
1/4.2 |
| - Каждого спектрального канала: |
1/6.1 |
| Фокусное расстояние: |
270 мм |
| Диапазон сканирования, ограниченный углом разворота решеток (для решетки 1200 штр/мм): |
1280 нм |
| Основные зеркала: |
внеосевые параболические |
| Рассеянный свет (На расстоянии 20 нм от линии лазера 632.8 нм) |
2.5*10-5 |
Качество изображения:
| Горизонтальное увеличение: |
1.09 |
| Вертикальное увеличение: |
1 |
| Вертикальное пространственное разрешение: |
|
| - В центре поля: |
2 мкм |
| - На расстоянии ±10мм от центра: |
0.2 мм |
| Фокальная плоскость |
25 х 8 |
Механизм развертки по спектру
| Двигатель: |
Шаговый, с дроблением шага |
| Механизм: |
Червячный |
| Единичный шаг: |
1.62 угловые секунды |
| Точность установки: |
±1 шаг |
| Макс скорость: |
10 000 шагов/с |
*Оптические характеристики
| Обратная линейная дисперсия: |
2.91 |
| Спектральное разрешение: |
|
| - ФЭУ (ширина щели 10 мкм): |
0.07 нм |
| - Цифровая камера (размер пикселя 14 мкм): |
0.08 нм |
| Воспроизводимость: |
±0.03 нм |
| Точность установки длины волны: |
±0.06 нм |
| Средний шаг сканирования: |
0.01 нм |
* Параметры приведены для решетки 1200 штр/мм; длина волны 546 нм; размер пикселя 24 мкм
Решетки
| Количество сменных решеток: |
неограниченно |
| Количеcтво одновременно установленных решеток: |
2 |
| Размер: |
50 х 40 х 10 мм |
| Крепление решеток: |
Держатель на одну решетку, сменяемую вручную |
| Способ вращения решетки: |
Относительно центра рабочей области, ось вращения совпадает со штрихами
|
| *Воспроизводимость позиционирования решетки при ее смене: |
|
| - По длине волны: |
±0.02 нм
|
| - По вертикальному положению изображения: |
±0.2 мм
|
* Параметры приведены для решетки 1200 штр/мм; длина волны 546 нм
Порты
| Количество портов: |
1 входной, 2 выходных |
| *Воспроизводимость выбора выходного порта по длине волны: |
±0.03 нм |
| Время смены выходного порта: |
30 с |
* Параметры приведены для решетки 1200 штр/мм; длина волны 546 нм
Спектральные щели
| Управление шириной раскрытия: |
Автоматическое (шаговый привод) либо вручную (микровинт) |
| Ширина раскрытия щели: |
Плавно регулируемая от 0 до 2 мм.
Рабочая ширина щели 0 - 0.4 мм. |
| Параллельность ножей: |
± 1 мкм |
| Точность (при ширине щели 1 мм): |
± 10 мкм |
| Воспроизводимость: |
|
| - При автоматическом управлении: |
±1 мкм |
| - При управлении вручную: |
±1.5 мкм |
| Цена деления микровинта: |
2 мкм |
| Единичный шаг (при автоматизированном управлении): |
0.5 мкм |
| Высота щели: |
10 мм (рабочая высота щели регулируется ступенчатой диафрагмой: 1, 2, 3, 4 мм) |
Управление
| Общее управление: |
от встроенного контроллера |
| Внешнее управление: |
от персонального компьютера |
| Интерфейс связи с компьютером: |
Ethernet |
Габаритные размеры
| Габаритные размеры (Д х Ш х В): |
510 х 280 х 215 мм |
| Оптическая высота: |
111 - 120 мм |
|
Вес:
|
14 кг |
|
Напряжение питания:
|
110 - 230 В 50/60 Гц |
|
Потребляемая мощность:
|
Не более 35 Вт |
Габаритная схема:
