Оптическая система
Оптическая система: |
Модифицированная схема Хилла с компенсацией астигматизма. Два независимых спектральных канала |
Диапазон длин волн: |
185 нм – 60 мкм (в зависимости от используемой решетки) |
Относительное отверстие по входу: |
|
- Общее по входу: |
1/4.2 |
- Каждого спектрального канала: |
1/6.1 |
Фокусное расстояние: |
270 мм |
Диапазон сканирования, ограниченный углом разворота решеток (для решетки 1200 штр/мм): |
1280 нм |
Основные зеркала: |
внеосевые параболические |
Рассеянный свет (На расстоянии 20 нм от линии лазера 632.8 нм) |
2.5*10-5 |
Качество изображения:
Горизонтальное увеличение: |
1.09 |
Вертикальное увеличение: |
1 |
Вертикальное пространственное разрешение: |
|
- В центре поля: |
2 мкм |
- На расстоянии ±10мм от центра: |
0.2 мм |
Фокальная плоскость |
25 х 8 |
Механизм развертки по спектру
Двигатель: |
Шаговый, с дроблением шага |
Механизм: |
Червячный |
Единичный шаг: |
1.62 угловые секунды |
Точность установки: |
±1 шаг |
Макс скорость: |
10 000 шагов/с |
*Оптические характеристики
Обратная линейная дисперсия: |
2.91 |
Спектральное разрешение: |
|
- ФЭУ (ширина щели 10 мкм): |
0.07 нм |
- Цифровая камера (размер пикселя 14 мкм): |
0.08 нм |
Воспроизводимость: |
±0.03 нм |
Точность установки длины волны: |
±0.06 нм |
Средний шаг сканирования: |
0.01 нм |
* Параметры приведены для решетки 1200 штр/мм; длина волны 546 нм; размер пикселя 24 мкм
Решетки
Количество сменных решеток: |
неограниченно |
Количеcтво одновременно установленных решеток: |
2 |
Размер: |
50 х 40 х 10 мм |
Крепление решеток: |
Держатель на одну решетку, сменяемую вручную |
Способ вращения решетки: |
Относительно центра рабочей области, ось вращения совпадает со штрихами
|
*Воспроизводимость позиционирования решетки при ее смене: |
|
- По длине волны: |
±0.02 нм
|
- По вертикальному положению изображения: |
±0.2 мм
|
* Параметры приведены для решетки 1200 штр/мм; длина волны 546 нм
Порты
Количество портов: |
1 входной, 2 выходных |
*Воспроизводимость выбора выходного порта по длине волны: |
±0.03 нм |
Время смены выходного порта: |
30 с |
* Параметры приведены для решетки 1200 штр/мм; длина волны 546 нм
Спектральные щели
Управление шириной раскрытия: |
Автоматическое (шаговый привод) либо вручную (микровинт) |
Ширина раскрытия щели: |
Плавно регулируемая от 0 до 2 мм. Рабочая ширина щели 0 - 0.4 мм. |
Параллельность ножей: |
± 1 мкм |
Точность (при ширине щели 1 мм): |
± 10 мкм |
Воспроизводимость: |
|
- При автоматическом управлении: |
±1 мкм |
- При управлении вручную: |
±1.5 мкм |
Цена деления микровинта: |
2 мкм |
Единичный шаг (при автоматизированном управлении): |
0.5 мкм |
Высота щели: |
10 мм (рабочая высота щели регулируется ступенчатой диафрагмой: 1, 2, 3, 4 мм) |
Управление
Общее управление: |
от встроенного контроллера |
Внешнее управление: |
от персонального компьютера |
Интерфейс связи с компьютером: |
Ethernet |
Габаритные размеры
Габаритные размеры (Д х Ш х В): |
510 х 280 х 215 мм |
Оптическая высота: |
111 - 120 мм |
Вес:
|
14 кг |
Напряжение питания:
|
110 - 230 В 50/60 Гц |
Потребляемая мощность:
|
Не более 35 Вт |
Габаритная схема:
