Оптическая система
| Оптическая схема: |
Черни-Тернера (модели MS7501i, MS7504i –
с компенсацией астигматизма) |
| Порты: |
1 входной, 2 выходных |
| Диапазон длин волн: |
185 нм - 60 мкм (определяется используемыми решетками) |
| Относительное отверстие (по входу): |
1/8.9 |
| Фокусное расстояние (выходное): |
750 мм |
| Диапазон сканирования, ограниченный углом разворота решётки: |
0 - 1270 нм (для решётки 1200 штр/мм) |
| Основные зеркала: |
сферические |
| Рассеянный свет: |
5.5 х 10-7 (на расстоянии 20 нм
от линии лазера 632.8 нм) |
| Фокальная плоскость: |
28 х 10 мм |
Используемая в приборах оптическая схема оптимизирована для:
- минимизации комы во всём рабочем спектральном диапазоне
- исключения переотражения света от двух основных зеркал
- исключения переотражения света между зеркалами прибора и
входными окнами детекторов, установленных в фокальной плоскости
- обеспечения большого плоского фокального поля для всего
рабочего спектрального диапазона
- обеспечения компенсации астигматизма для всего рабочего
спектрального диапазона с использованием специальной
корректирующей оптики (для imaging модификаций MS7504i и MS7501i)
*Компенсация астигматизма
| *Горизонтальное увеличение: |
1.05 |
| *Вертикальное увеличение: |
1.125 |
| *Остаточный астигматизм: |
<15 мкм |
* Характеристики приведены для моделей с компенсацией астигматизма: MS7501i, MS7504i
Изображение, полученное на монохроматоре-спектографе MS7504i (дифракционная решетка 1800 штр/мм,
источник излучения - ртутно-гелиевая лампа, размер пикселя ПЗС камеры 24х24 мкм).
Механизм развертки по спектру
| Двигатель: |
шаговый, с дроблением шага |
| Механизм: |
синусный |
| Единичный шаг: |
0.22 угловые секунды |
| Точность установки: |
± 1 шаг |
| Макс. скорость: |
10000 шагов/с |
**Оптические характеристики
| Тип решетки: |
1200 штр/мм,
λ = 546 нм |
Эшелле, 75 штр/мм,
λ = 200 нм,
120-й порядок |
| Обратная линейная дисперсия: |
1.02 нм/мм |
0.055 нм/мм |
| Спектральное разрешение: |
|
|
| - ФЭУ, ширина входной щели 10 μм |
0.015 нм |
0.0008 нм |
| - Цифровая камера, 12 μм пиксел, ширина входной щели 15 μм |
0.02 нм |
0.0011 нм |
| Воспроизводимость: |
± 0.007 нм |
± 0.0009 нм |
| Точность установки длины волны: |
± 0.034 нм |
± 0.0045 нм |
| Средний шаг сканирования: |
0.0017 нм |
- |
| Шаг сканирования на 200 нм: |
- |
2.25 х 10-4 нм |
** Характеристики приведены для решетки 1200 штр/мм, ширине щели 15 мкм, длина волны - 546 нм
Решетки
| Размер решетки: |
80 х 70 х 10 мм |
|
Способ вращения решетки:
|
относительно центра нарезного участка решетки |
| Крепление решеток: |
1. Автоматизированная четырёхпозиционная турель (модели MS7504, MS7504i)
2. Держатель на одну сменяемую вручную решетку (модели MS7501 и MS7501i)
|
Воспроизводимость позиционирования решетки
для автоматизированной четырёхпозиционной турели
(модели MS7504, MS7504i): |
|
| - по длине волны: |
± 0.03 нм |
| - по вертикальному положению изображения: |
± 50 мкм |
Воспроизводимость позиционирования решетки
для держателя на одну сменяемую вручную решетку
(модели MS7501, MS7501i): |
|
| - по длине волны: |
± 0.05 нм |
| - по вертикальному положению изображения: |
± 75 мкм |
Порты
| Количество: |
1 входной, 2 выходных |
| Воспроизводимость выбора выходного порта (автоматизированное зеркало): |
± 0.01 нм |
| Время смены выходного порта: |
10 сек |
Спектральные щели
| Управление шириной щели: |
автоматическое (шаговый привод) либо вручную (микровинт) |
| Ширина раскрытия щели: |
плавно регулируемая от 0 до 2.0 мм |
| Параллельность ножей: |
± 1 мкм |
| Точность (при ширине щели 1 мм): |
± 10 мкм |
| Воспроизводимость: |
± 1 мкм (± 1.5 мкм - ручная щель) |
| Цена деления микровинта: |
2 мкм |
| Единичный шаг: |
0.5 мкм |
| Высота щели: |
от 0 до 10 мм – регулируется диафрагмой |
Встроенный затвор
| Время перекрытия: |
~ 100 мс |
| Максимальная частота: |
1 Гц |
| Управление: |
Программно от встроенного контроллера прибора или
TTL-сигналами от внешнего устройства |
Управление
| Общее управление: |
от встроенного контроллера |
|
Внешнее управление:
|
от персонального компьютера |
| Интерфейс связи с компьютером: |
Ethernet |
Габаритные размеры
| Габаритные размеры (Д х Ш х В): |
950 х 361 х 343 мм |
|
Вес:
|
45 кг (может незначительно отличаться в зависимости от комплектации)
|
