Оптическая система
Оптическая схема: |
Черни-Тернера (модели MS7501i, MS7504i – с компенсацией астигматизма) |
Порты: |
1 входной, 2 выходных |
Диапазон длин волн: |
185 нм - 60 мкм (определяется используемыми решетками) |
Относительное отверстие (по входу): |
1/8.9 |
Фокусное расстояние (выходное): |
750 мм |
Диапазон сканирования, ограниченный углом разворота решётки: |
0 - 1270 нм (для решётки 1200 штр/мм) |
Основные зеркала: |
сферические |
Рассеянный свет: |
5.5 х 10-7 (на расстоянии 20 нм от линии лазера 632.8 нм) |
Фокальная плоскость: |
28 х 10 мм |
Используемая в приборах оптическая схема оптимизирована для:
- минимизации комы во всём рабочем спектральном диапазоне
- исключения переотражения света от двух основных зеркал
- исключения переотражения света между зеркалами прибора и
входными окнами детекторов, установленных в фокальной плоскости
- обеспечения большого плоского фокального поля для всего
рабочего спектрального диапазона
- обеспечения компенсации астигматизма для всего рабочего
спектрального диапазона с использованием специальной
корректирующей оптики (для imaging модификаций MS7504i и MS7501i)
*Компенсация астигматизма
*Горизонтальное увеличение: |
1.05 |
*Вертикальное увеличение: |
1.125 |
*Остаточный астигматизм: |
<15 мкм |
* Характеристики приведены для моделей с компенсацией астигматизма: MS7501i, MS7504i
Изображение, полученное на монохроматоре-спектографе MS7504i (дифракционная решетка 1800 штр/мм,
источник излучения - ртутно-гелиевая лампа, размер пикселя ПЗС камеры 24х24 мкм).
Механизм развертки по спектру
Двигатель: |
шаговый, с дроблением шага |
Механизм: |
синусный |
Единичный шаг: |
0.22 угловые секунды |
Точность установки: |
± 1 шаг |
Макс. скорость: |
10000 шагов/с |
**Оптические характеристики
Тип решетки: |
1200 штр/мм, λ = 546 нм |
Эшелле, 75 штр/мм, λ = 200 нм, 120-й порядок |
Обратная линейная дисперсия: |
1.02 нм/мм |
0.055 нм/мм |
Спектральное разрешение: |
|
|
- ФЭУ, ширина входной щели 10 μм |
0.015 нм |
0.0008 нм |
- Цифровая камера, 12 μм пиксел, ширина входной щели 15 μм |
0.02 нм |
0.0011 нм |
Воспроизводимость: |
± 0.007 нм |
± 0.0009 нм |
Точность установки длины волны: |
± 0.034 нм |
± 0.0045 нм |
Средний шаг сканирования: |
0.0017 нм |
- |
Шаг сканирования на 200 нм: |
- |
2.25 х 10-4 нм |
** Характеристики приведены для решетки 1200 штр/мм, ширине щели 15 мкм, длина волны - 546 нм
Решетки
Размер решетки: |
80 х 70 х 10 мм |
Способ вращения решетки:
|
относительно центра нарезного участка решетки |
Крепление решеток: |
1. Автоматизированная четырёхпозиционная турель (модели MS7504, MS7504i)
2. Держатель на одну сменяемую вручную решетку (модели MS7501 и MS7501i)
|
Воспроизводимость позиционирования решетки для автоматизированной четырёхпозиционной турели (модели MS7504, MS7504i): |
|
- по длине волны: |
± 0.03 нм |
- по вертикальному положению изображения: |
± 50 мкм |
Воспроизводимость позиционирования решетки для держателя на одну сменяемую вручную решетку (модели MS7501, MS7501i): |
|
- по длине волны: |
± 0.05 нм |
- по вертикальному положению изображения: |
± 75 мкм |
Порты
Количество: |
1 входной, 2 выходных |
Воспроизводимость выбора выходного порта (автоматизированное зеркало): |
± 0.01 нм |
Время смены выходного порта: |
10 сек |
Спектральные щели
Управление шириной щели: |
автоматическое (шаговый привод) либо вручную (микровинт) |
Ширина раскрытия щели: |
плавно регулируемая от 0 до 2.0 мм |
Параллельность ножей: |
± 1 мкм |
Точность (при ширине щели 1 мм): |
± 10 мкм |
Воспроизводимость: |
± 1 мкм (± 1.5 мкм - ручная щель) |
Цена деления микровинта: |
2 мкм |
Единичный шаг: |
0.5 мкм |
Высота щели: |
от 0 до 10 мм – регулируется диафрагмой |
Встроенный затвор
Время перекрытия: |
~ 100 мс |
Максимальная частота: |
1 Гц |
Управление: |
Программно от встроенного контроллера прибора или TTL-сигналами от внешнего устройства |
Управление
Общее управление: |
от встроенного контроллера |
Внешнее управление:
|
от персонального компьютера |
Интерфейс связи с компьютером: |
Ethernet |
Габаритные размеры
Габаритные размеры (Д х Ш х В): |
950 х 361 х 343 мм |
Вес:
|
45 кг (может незначительно отличаться в зависимости от комплектации)
|
